Men bunday hisobotni uzoq vaqt oldin ko'rganman: Germaniya, Yaponiya va boshqa mamlakatlar olimlari yuqori toza kremniy-28 materialidan tayyorlangan to'pni yaratish uchun 5 yil vaqt sarflashdi va deyarli 10 million yuan sarflashdi. Ushbu 1 kg og'irlikdagi sof kremniy to'pi ultra aniq ishlov berish, silliqlash va parlatish, aniq o'lchashni (sferiklik, pürüzlülük va sifat) talab qiladi, uni dunyodagi eng yumaloq to'p deb aytish mumkin.
Keling, ultra aniqlikdagi polishing jarayonini tanishtiramiz.
01 silliqlash va silliqlash o'rtasidagi farq
Taşlama: silliqlash moslamasida qoplangan yoki bosilgan abraziv zarralar yordamida sirt silliqlash asbobining va ishlov beriladigan qismning ma'lum bir bosim ostida nisbiy harakati bilan tugatiladi. Taşlama turli metall va metall bo'lmagan materiallarni qayta ishlash uchun ishlatilishi mumkin. Qayta ishlangan sirt shakllariga tekislik, ichki va tashqi silindrsimon va konusning sirtlari, konveks va konkav sferik yuzalar, iplar, tish sirtlari va boshqa profillar kiradi. Qayta ishlashning aniqligi IT5 ~ IT1 ga yetishi mumkin va sirt pürüzlülüğü Ra0,63 ~ 0,01 mkm ga yetishi mumkin.
Jilolash: Yorqin va silliq sirtni olish uchun mexanik, kimyoviy yoki elektrokimyoviy ta'sirlar bilan ishlov beriladigan qismning sirt pürüzlülüğünü kamaytiradigan ishlov berish usuli.
Ularning orasidagi asosiy farq shundaki, silliqlash orqali erishilgan sirt silliqlashdan yuqori bo'lib, kimyoviy yoki elektrokimyoviy usullardan foydalanish mumkin, silliqlashda esa asosan faqat mexanik usullar qo'llaniladi va abraziv don o'lchami ishlatilganidan ko'ra qo'polroqdir. sayqallash. Ya'ni, zarracha hajmi katta.
02 Ultra aniqlikdagi polishing texnologiyasi
Ultra-aniq polishing zamonaviy elektron sanoatning ruhidir
Zamonaviy elektronika sanoatida o'ta nozik polishing texnologiyasining vazifasi nafaqat turli materiallarni tekislash, balki ko'p qatlamli materiallarni tekislashdir, shuning uchun bir necha millimetr kvadrat kremniy gofretlari millionlab elementlardan tashkil topgan o'n minglab VLSI ni tashkil qilishi mumkin. tranzistorlar. Misol uchun, odamlar tomonidan ixtiro qilingan kompyuter bugungi kunda o'nlab tonnadan yuzlab grammgacha o'zgargan, buni o'ta nozik jilosiz amalga oshirib bo'lmaydi.
Gofret ishlab chiqarishni misol qilib oladigan bo'lsak, polishing butun jarayonning oxirgi bosqichi bo'lib, maqsad eng yaxshi parallellikni olish uchun gofretni qayta ishlashning oldingi jarayonidan qolgan mayda nuqsonlarni yaxshilashdir. Bugungi optoelektronik axborot sanoati darajasi nanometr darajasiga yetgan sapfir va monokristalli kremniy kabi optoelektronik substrat materiallari uchun tobora aniq parallellik talablarini talab qiladi. Bu shuni anglatadiki, parlatish jarayoni nanometrlarning o'ta aniqlik darajasiga ham kirdi.
Zamonaviy ishlab chiqarishda o'ta nozik polishing jarayoni qanchalik muhim bo'lsa, uni qo'llash sohalari muammoni to'g'ridan-to'g'ri tushuntirishi mumkin, jumladan, integral mikrosxemalar ishlab chiqarish, tibbiy asbob-uskunalar, avtomobil qismlari, raqamli aksessuarlar, nozik qoliplar va aerokosmik.
Yuqori polishing texnologiyasi faqat Amerika Qo'shma Shtatlari va Yaponiya kabi bir nechta mamlakatlar tomonidan o'zlashtiriladi
Jilolash mashinasining asosiy qurilmasi "silliqlash diski" dir. Ultra-aniq polishing, polishing mashinasida silliqlash diskining moddiy tarkibi va texnik talablariga deyarli qat'iy talablarga ega. Maxsus materiallardan sintez qilingan bunday po'lat disk nafaqat avtomatik ishlashning nano darajadagi aniqligiga javob berishi, balki aniq termal kengayish koeffitsientiga ham ega bo'lishi kerak.
Polishing mashinasi yuqori tezlikda ishlayotganida, agar termal kengayish silliqlash diskining termal deformatsiyasiga olib keladigan bo'lsa, substratning tekisligi va parallelligi kafolatlanmaydi. Va yuzaga kelishi mumkin bo'lmagan bunday termal deformatsiya xatosi bir necha millimetr yoki bir necha mikron emas, balki bir necha nanometrdir.
Hozirgi vaqtda Amerika Qo'shma Shtatlari va Yaponiya kabi yuqori darajadagi xalqaro polishing jarayonlari allaqachon 60 dyuymli substrat xomashyosining (ular o'ta o'lchamli) nozik polishing talablariga javob berishi mumkin. Shunga asoslanib, ular o‘ta aniqlikdagi sayqallash jarayonlarining asosiy texnologiyasini o‘zlashtirib, jahon bozoridagi tashabbusni mustahkam egallab oldilar. . Darhaqiqat, ushbu texnologiyani o'zlashtirish elektronika ishlab chiqarish sanoatining rivojlanishini ham katta darajada nazorat qiladi.
Bunday qattiq texnik blokadaga duch kelgan, o'ta aniqlikdagi sayqallash sohasida mening mamlakatim hozirda faqat o'z-o'zidan tadqiqotlar olib borishi mumkin.
Xitoyning o'ta nozik polishing texnologiyasi darajasi qanday?
Darhaqiqat, ultra-aniqlikdagi polishing sohasida Xitoy yutuqlardan xoli emas.
2011-yilda Xitoy Fanlar akademiyasi Nano-miqyosdagi fanlar milliy markazidan doktor Vang Qi jamoasi tomonidan ishlab chiqilgan “Serium oksidi mikrosfera zarrachalari o‘lchami standart materiali va uni tayyorlash texnologiyasi” Xitoy neft va kimyo sanoatining birinchi mukofotiga sazovor bo‘ldi. Federatsiyaning Texnologiya ixtirosi mukofoti va tegishli nano o'lchamdagi zarrachalar o'lchami standart materiallari Milliy o'lchash asboblari litsenziyasini va milliy birinchi darajali standart modda sertifikatini oldi. Yangi seriy oksidi materialining o'ta nozik polishing ishlab chiqarish sinov effekti bir zarbada xorijiy an'anaviy materiallardan oshib ketdi va bu sohadagi bo'shliqni to'ldirdi.
Ammo doktor Vang Qi shunday dedi: “Bu biz bu maydonning cho'qqisiga chiqdik degani emas. Umumiy jarayon uchun faqat abraziv suyuqlik mavjud, ammo ultra aniqlikdagi polishing mashinasi yo'q. Ko‘pi bilan biz faqat materiallarni sotamiz”.
2019 yilda Zhejiang texnologiya universiteti professori Yuan Julongning tadqiqot guruhi yarim qattiq abraziv kimyoviy mexanik ishlov berish texnologiyasini yaratdi. Ishlab chiqilgan polishing mashinalari seriyasi Yuhuan CNC Machine Tool Co., Ltd. tomonidan ommaviy ishlab chiqarilgan va Apple tomonidan iPhone4 va iPad3 shishasi sifatida aniqlangan. Panel va alyuminiy qotishma orqa panelni parlatish uchun dunyodagi yagona nozik polishing uskunasi, Apple kompaniyasining iPhone va iPad shisha plitalarini ommaviy ishlab chiqarish uchun 1700 dan ortiq abraziv mashinalar qo'llaniladi.
Mexanik ishlov berishning jozibasi shundan iborat. Bozor ulushiga va foyda olishga intilish uchun siz boshqalarga yetib olish uchun qo'lingizdan kelganicha harakat qilishingiz kerak, va texnologiya yetakchisi har doim yaxshilanadi va yaxshilanadi, yanada nozik bo'ladi, doimo raqobatlashadi va ortda qoladi va katta rivojlanishga yordam beradi. inson texnologiyasi.
Xabar vaqti: 2023 yil 08-mart
